当前位置: 首页 > 表面处理设备 > SAB95系列
2-12寸
及不规则样品
兼容晶圆尺寸
800 Å*cm²/s
SiO2
刻蚀速率
<10mm
半高宽束斑尺寸
最大60kV
离子能量
≤0.5nm
金刚石
抛光后粗糙度
SAB9500-半自动 超原子束抛光机
设备特点
规格参数
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