当前位置: 首页 > 表面处理设备 > SAB95系列
4-12寸
兼容尺寸
800 Å*cm²/s
@Si(SiO2
刻蚀速率
<5mm
半高宽束斑尺寸
60kV
离子能量
≤1nm
TRIM后膜厚Range
SAB9510-全自动 超原子束TRIM机
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